核心物理與清洗優(yōu)勢
1、頻率高、波長短（通常800kHz–3MHz），空化氣泡極小、極多、極均勻，能量溫和不沖擊。
2、無損清洗：幾乎無強空化沖擊，零劃傷、零損傷，保護超薄晶圓、低 k介質(zhì)、微凸點、TSV等脆弱結(jié)構(gòu) 。
3、納米級清潔能力：可穩(wěn)定去除0.1μm（100nm）以下亞微米/納米顆粒，傳統(tǒng)超聲做不到。
4、聲流主導、剪切力強：在表面形成極薄聲學邊界層，強力剝離微顆粒，深孔/高深寬比結(jié)構(gòu)也能洗干凈。
5、均勻性佳：聲場分布均勻，無熱點、無死角，整槽/整片晶圓清洗一致性好，良率高。
6、效率高：清洗時間大幅縮短（如10s達99.99%效率），產(chǎn)能提升。
功能特點
1、新款它激式線路，頻率自動跟蹤，工作穩(wěn)定可靠，較以前的自激式震蕩線路結(jié)構(gòu)在輸出功率增加15%以上。
2、采用進口日本本多陶瓷片組裝換能器，電聲轉(zhuǎn)換率高達98%以上。
3、采用IGBT大功率模塊控制，輸出功率強大，使超聲波使用壽命大幅提高，并有效保護換能器正常工作。超聲波發(fā)生器有頻率微調(diào)的功能，調(diào)整范圍1%，換能效率達到最大，在不同工況下都能達到最佳效果。
4、采用高品質(zhì)鈑金技術(shù)及新式粘合技術(shù)和電路結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，使設(shè)備的噪音比常規(guī)超聲音量低26個分貝左右。
5、水槽采用316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼，厚度1.5mm,無縫焊接。水槽主體材質(zhì)采用316型不銹鋼板，厚度1.5mm,水槽無縫焊接，采用滿焊工藝表面光滑潔凈，沒有衛(wèi)生死角，連接管道也需采用316衛(wèi)生級不銹鋼管及配件，連接采用活接方式。
6、采用7寸高清液品顯示屏觸控操作，PLC控制有50組以上的清洗程序設(shè)定，屏幕實時顯示時間、溫度、功率、運行狀態(tài)倒計時顯示。
7、儀器具有超電流、超電壓、超溫報警功能，自動進水自動排水。
8、具備生產(chǎn)制造資質(zhì)及認監(jiān)委認證質(zhì)量體系認證。產(chǎn)品獲得CE及ROSH認證以及產(chǎn)品相關(guān)的生產(chǎn)執(zhí)行標準，原件備查。
1、超聲頻率：2.4MHz，自適應(yīng)（也可根據(jù)需求選定其它頻率）
2、超聲標稱功率：500W，功率可調(diào)，步進10%，也可細化至步進1%
3、時間可調(diào)：0-999min
4、加熱功率：500W，溫度可調(diào)：室溫-80 ℃
5、清洗內(nèi)槽尺寸：400×250×150（mm），容量：15升，外型尺寸：540*500*400(mm)水槽采用316L優(yōu)質(zhì)不銹鋼，厚度1.5mm,無縫焊接。水槽主體材質(zhì)采用316型不銹鋼板，厚度1.5mm,水槽無縫焊接，采用滿焊工藝表面光滑潔凈，沒有衛(wèi)生死角，連接管道也需采用316衛(wèi)生級不銹鋼管及配件，連接采用活接方式。
6、采用7 寸高清液晶顯示屏觸控操作，PLC控制有50組以上的清洗程序設(shè)定，屏幕實時顯示時間、溫度、功率、運行狀態(tài)倒計時顯示；
7、儀器具有超電流、超電壓、超溫報警功能，自動進水自動排水。
